Èȵç¶Ñ¼ì²âÆ÷¹ã·ºÓÃÓÚÐí¶àÐÐÒµ£¬¿ÉÓÐЧµØ½øÐзǽӴ¥Ê½Î¶ȲâÁ¿¡£»¯Ñ§¹ý³Ìͨ³£ÐèҪʹÓøßΣ¬µ«²»ÐÒµÄÊÇ£¬´ó¶àÊýÈȵç¶Ñ¼ì²âÆ÷ÎÞ·¨³ÐÊÜ180 ° C ÒÔÉϵÄζȡ£µ«ÊÇ£¬ËùÓÐÕâЩÇé¿ö¶¼½«·¢Éú±ä»¯¡£µÂ¿ËË¹ÌØÑо¿¹«Ë¾·Ç³£½ü¿ª·¢ÁËÁ½ÖÖÈȵç¶Ñ̽²âÆ÷£¬·Ç³£ÊʺÏËùÓл·¾³£¬°üÀ¨¸ßÎÂÌõ¼þ¡£
¶ÔһϵÁвúÆ·ºÍ¹¤ÒÕµÄÖØÒªÒªÇóÊÇÄܹ»²âÁ¿²ÄÁϺÍÉ豸µÄ¾«È·Î¶ȡ£ÃÜÇмàÊÓζÈÓÐÖúÓÚ·¢ÏֺͷÀֹDZÔÚÎÊÌ⣬ÀýÈçЧÂʽµµÍ£¬¹ýÈȺͻðÔÖ¡£
Ðí¶àÓ¦ÓÃÐèÒª·Ç½Ó´¥Ê½Î¶ȸÐÓ¦£¬Õâ¶ÔÓÚ·ÀÖ¹Ëð»µÄ¿±ê»ò´«¸ÐÆ÷±¾ÉíÖÁ¹ØÖØÒª¡£´ËÍ⣬·Ç½Ó´¥Ê½Î¶ȴ«¸ÐÆ÷¾ßÓжàÖÖÓÅÊÆ-Óë½Ó´¥Ê½´«¸ÐÆ÷Ïà±È£¬ËüÃÇͨ³£¸ü±ãÒËÇÒÊý¾ÝÊÕ¼¯Ëٶȸü¿ì¡£·Ç½Ó´¥Î¶ȴ«¸ÐÆ÷µÄÖ÷ҪʾÀýÊÇÈȵç¶Ñ¼ì²âÆ÷¡£
ʲôÊǽðÊô¹Ü¸¡×ÓÁ÷Á¿¼Æ£¿
±¾ÖÊÉÏ£¬½ðÊô¹Ü¸¡×ÓÁ÷Á¿¼ÆÊǰïÖú½«ÈÈÄÜת»»³ÉµçÐźŵÄÉ豸¡£Óɼ¸¸ö´®Áª»ò²¢ÁªÁ¬½ÓµÄÈȵçż×é³É£¬ËüÃÇÓëºìÍâÎüÊÕĤ½áºÏʹÓ㬸ÃĤ½«ºìÍâ·øÉäת»¯ÎªÈÈÁ¿¡£
Òò´Ë£¬Õâµ¼ÖÂÈȵç¶ÑµÄ“ÈȽá”Ôö¼Ó¡£´ËÍ⣬ÔÚ“ÈȽᔺ͓Àä½á”Ö®¼äÒýÆðµÄζȲÖÂÈȵç¶Ñ²úÉúÊä³öµçѹ¼õÈ¥ÈκÎÊ©¼ÓµÄµçѹƫÖá£È»ºó¿ÉÒÔ²âÁ¿Óɴ˲úÉúµÄµçѹÒÔÈ·¶¨Ä¿±êÎïÌåµÄζȡ£
ÈȵçżºÍÆäËûζȸвâÉ豸ͨ³£ÒÀÀµÓÚͨ¹ý½Ó´¥´ÓÄ¿±ê´«µÝµÄÈÈÁ¿À´²âÁ¿Ä¿±êζȡ£µ«ÊÇ£¬Èȵç¶Ñ¿ÉÒÔÔ¶³Ì²âÁ¿Ä¿±ê²úÉúµÄºìÍâ·øÉä¡£Òò´Ë£¬Èȵç¶Ñ¿ÉÒÔ¶ÔζȸßÓÚ0KµÄËùÓжÔÏó½øÐзǽӴ¥Ê½²âÁ¿£¬´Ó¶ø²úÉúºìÍâ·øÉä¡£Òò´Ë£¬ÔÚʹÓÃÈȵç¶Ñʱ²»ÐèÒªÍⲿÕÕÃ÷¡£Èȵç¶ÑÒ²¿ÉÓÃÓÚʶ±ð²úÉúºìÍâ·øÉäµÄÒºÌå»òÆøÌ壬´Ó¶ø´Ù½øÁ˹㷺µÄ¿ÉÄÜÓ¦Óá£È»¶ø£¬ÒÔǰµÄÈȵç¶ÑÌå»ý´ó£¬¼Û¸ñ°º¹ó²¢ÇÒÐèÒª¸´Ôӵɣ¬ÕâÏÞÖÆÁËËüÃǵĹ㷺¿ÉÓÃÐÔºÍÓ¦Óá£
MEMSÈȵç¶Ñ£ºµÍ³É±¾£¬³öÖÚµÄÐÔÄÜ
ÔÚ¹ýÈ¥µÄ¼¸Ê®ÄêÖУ¬Î¢Ð͵ç×Ó¼¼ÊõÓÐÁËһϵÁеÄз¢Õ¹¡£½á¹û£¬Óë׿ÏȲúÆ·Ïà±È£¬µ±½ñµÄÐí¶àÉ豸ÏÖÔÚ¸ü½ô´Õ£¬¸üÇá±ã£¬¸ü¾¼Ã£¬²¢¾ßÓиü¸ßµÄÐÔÄÜ¡£Èȵç¶ÑÒ²×ñÑÏàͬµÄģʽ£¬ÏÖÔڹ㷺ʹÓÃ΢ÐÍMEMS£¨Î¢»úµçϵͳ£©½ðÊô¹Ü¸¡×ÓÁ÷Á¿¼Æ¡£
MEMSÈȵç¶ÑÉ豸ͨ¹ý΢»úе¼Ó¹¤À´Éú²ú΢ÐÍ»¯µÄ»úµçÔª¼þ£¬Òò´Ë³ß´ç¸üС£¬¸ü½ô´Õ£¬¸üÇá±ã¡£´ËÍ⣬MEMSÆ÷¼þµÄÖÆÔì¿ÉÒÔ·ÖÅúÍê³É£¬´Ó¶ø½µµÍÁËÉú²ú³É±¾¡£ÕýÊÇÕâ¸öÒòËØµ¼ÖÂMEMSÈȵç¶ÑÌå»ýС£¬³É±¾µÍµ«ÐÔÄܸߡ£
¾¡¹ÜÈȵç¶Ñ²»ÈçÆäËûÐí¶à·Ç½Ó´¥Ê½Î¶ȴ«¸ÐÆ÷£¨Èç²â·øÉäÈȼƺÍÈȵçζÈ̽²âÆ÷£©ÄÇôÁéÃô£¬µ«ËüÃǷdz£¿É¿¿£¬²¢¾ßÓÐÃ÷ÏÔ¸ü¸ßµÄÐԼ۱ȡ£ÁíÒ»·½Ã棬Èȵçζȼì²âÆ÷ÐèÒª¸´ÔÓµÄÀäȴϵͳ£¬´Ó¶øÊ¹Æä¸ü´ó£¬¸ü¸´ÔÓ£¬Òò´Ë¸ü°º¹ó¡£
Ïà·´£¬MEMS½ðÊô¹Ü¸¡×ÓÁ÷Á¿¼Æ¸üС£¬¸ü¾¼Ã¡£´ËÍ⣬ËüÃÇÌṩµÍÔëÉù²âÁ¿£¬²¢ÇÒ²»ÐèҪƫÖõçѹ»òµçÁ÷¡£MEMS
½ðÊô¹Ü¸¡×ÓÁ÷Á¿¼Æ¾ßÓйÌÓеÄÎȶ¨ÐÔ²¢Äܹ»¶Ô¹ã·ºµÄºìÍâ·øÉä×ö³öÏìÓ¦£¬Òò´ËÊÇζȼì²âºÍ¿ØÖƵļá¹Ì¿É¿¿µÄÑ¡Ôñ¡£Õâ˵Ã÷ÁËËüÃÇÔÚ¸÷ÖÖ²»Í¬Ó¦ÓÃÖеľ޴óDZÁ¦£¬ÀýÈçÉÌÒµ£¬¹¤ÒµºÍÒ½ÁÆ¡£
MEMSÈȵç¶Ñ£º¶à¹¦Äܽâ¾ö·½°¸
ÈçǰËùÊö£¬Èȵç¶Ñ¿ÉÓÃÓڹ㷺µÄÐÐÒµÖС£ÔÚ¼ÒÍ¥ÖУ¬Èȵç¶Ñ¿ÉÓÃ×÷¿ØÖÆÉ豸µÄζȵÄÉ豸£¬ÀýÈç΢²¨Â¯£¬¿¾Ãæ°ü»ú£¬»ð¯ºÍ¹öͲʽºæ¸É»ú¡£Èȵç¶Ñ»¹¿ÉÒÔÓÃÓÚ¼àÊÓPC£¬±Ê¼Ç±¾µçÄÔ£¬Æ½°åµçÄÔºÍÖÇÄÜÊÖ»úµÈÉ豸Öеç·µÄζȣ¬ÒÔ·ÀÖ¹¹ýÈÈ¡£ÔÚÒ½ÁÆÁìÓò£¬Èȵç¶ÑÓÃÓÚÉ豸ÖÐÒÔ¼à²âÈËÌåζȡ£ÔÚÉÌÒµÉÏ£¬Èȵç¶Ñ¿ÉÓÃÓÚ°²È«¿ØÖÆÏµÍ³ÖУ¬ÒÔ½øÐлðÔÖºÍÃºÆøÐ¹Â©¼ì²â£¬ÒÔ·ÀÖ¹·¢Éú²»°²È«Çé¿ö¡£
·Ç³£ºó£¬Èȵç¶ÑµÄ¹¤ÒµÓÃ;¿ÉÄܰüÀ¨»¯Ñ§ºÍÉúÎï¹ý³Ì£¬ÕâÐèÒª¹ã·ºµÄ»·¾³¼à¿Ø£¬°üÀ¨Î¶ȣ¬ÒºÌå£¬ÆøÌåºÍÈÈÁ÷¼ì²â¡£Èȵç¶Ñ¿ÉÄÜÊǹ¤Òµ¹ý³Ì¼à¿ØÖеÄÀíÏë½â¾ö·½°¸¡£È»¶ø£¬ÔÚ¹¤ÒµÓ¦ÓÃÖнðÊô¹Ü¸¡×ÓÁ÷Á¿¼ÆµÄʹÓÃÊܵ½»¯Ñ§ºÍÉúÎï¹ý³ÌËùÐèµÄ¶ñÁÓ»·¾³£¨ÀýÈç¸ß¹¤×÷ζȣ©µÄÏÞÖÆ¡£
Èȵç¶ÑMEMS´«¸ÐÆ÷µÄ¸ßÎÂÓ¦ÓÃ
ÔÚ¸ßβÙ×÷»·¾³ÖмàÊÓÉ豸¿ÉÄܾßÓкܸߵÄÌôÕ½ÐÔ¡£Ê×ÏÈ£¬Ðí¶àºìÍâ´°»§²ÄÁϲ»ÄܳÐÊܸßΡ£´ËÍ⣬¸ßοÉÄܵ¼ÖÂÈȵç¶Ñ¹ýÈȲ¢½µ½â£¬´Ó¶øµ¼Ö´«¸ÐÆ÷yongjiuË𻵡£
½á¹û£¬¾¡¹Ü¾ßÓÐÈȵ紫¸ÐÆ÷µÄDZÁ¦£¬µ«´ó¶àÊý¿ÉÉ̹ºµÄMEMS½ðÊô¹Ü¸¡×ÓÁ÷Á¿¼ÆÖ»ÄÜÔÚ-50ÖÁ100°CµÄ½ÏÕζȷ¶Î§ÄÚ¹¤×÷¡£
µ«ÊÇ£¬Ä³Ð©Ó¦ÓÃÐèÒªÄܹ»³ÐÊܼ«¸ßζȵÄרҵ½ðÊô¹Ü¸¡×ÓÁ÷Á¿¼Æ¡£ÀýÈ磬Æû³µ·É»úºÍÍÆ½øÏµÍ³ÐèÒª300ÖÁ800°CµÄÔËÐÐÌõ¼þ£¬¶øÊ¯ÓͺÍÌìÈ»Æø¹¤ÒµÖеĻ¯Ñ§Éú²úËùÉæ¼°µÄζȷ¶Î§Îª100ÖÁ700°C¡£
ÔÚÐí¶àÕâЩӦÓÃÖУ¬ÏÖ³¡Î¶ȼà²â¶ÔÓÚЧÂʺÍÖÊÁ¿¿ØÖÆÖÁ¹ØÖØÒª¡£ÒÔ¼°ÎÂȪ»·¾³µÄ»·¾³·ÖÎö£¬ÀýÈçÎÂȪµØÍ¼¡£
µÂ¿ËË¹ÌØÑо¿¹«Ë¾µÄ½ðÊô¹Ü¸¡×ÓÁ÷Á¿¼Æ£º·Ç³£Êʺϸßλ·¾³
µÂ¿ËË¹ÌØÑо¿¹«Ë¾ÌṩÊÀ½çÉϷdz£¹ã·ºµÄÈȵç¶Ñ½â¾ö·½°¸¡£·Ç³£½ü£¬¸Ã¹«Ë¾¿ª·¢ÁËÁ½ÖֿɳÐÊܶñÁÓ¸ßλ·¾³µÄ̽²âÆ÷¡£µÂ¿ËË¹ÌØµÄST60¸ßδ«¸ÐÆ÷ÊÇ»ùÓÚMEMSµÄÁ¿Éí¶¨ÖÆµÄÈȵç¶Ñ£¬Ö¼ÔÚ³ÐÊܸߴï300°CµÄζȡ£»»¾ä»°Ëµ£¬Õâ±È·Ç³£½Ó½üµÄ¾ºÕù¶ÔÊָ߳ö120°C£¡
µÂ¿ËË¹ÌØÑо¿¹«Ë¾Éú²úµÄ½ðÊô¹Ü¸¡×ÓÁ÷Á¿¼Æ¾ßÓÐÎÞÓëÂױȵľ«¶È£¬¸ü¸ßµÄÁéÃô¶ÈºÍÎÞÓëÂױȵÄÄÍÓÃÐÔ¡£×ÔÈ»£¬Dexter Research´«¸ÐÆ÷·Ç³£ÊʺϾüÊ£¬Ò½ÁÆ£¬Ñо¿£¬ÉÌÒµºÍ°²È«ÐÐÒµµÄÓ¦Óá£Òò´Ë£¬DexterµÄST60¸ßδ«¸ÐÆ÷ÒѾÔÚÐí¶à¹¤Òµ¿ØÖÆÓ¦ÓÃÖÐÕÒµ½Á˹㷺µÄÓ¦Óá£
×¢Ã÷£¬»´°²Èý³©ÒDZíÎÄÕ¾ùΪԴ´£¬×ªÔØÇë×¢Ã÷±¾ÎĵØÖ·http://www.beforebarack.com/